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日本OKK紫外線照射器概述
紫外線照射器是一種用紫外線照射和固化紫外線固化膠帶/薄膜的設(shè)備。在半導(dǎo)體芯片制造工序中研磨或切割工件的背面研磨和切割等工序中，剝離保護(hù)帶時用作固化應(yīng)用。
有兩種模式，一種是照射任意積分光量*¹的積分照射模式，另一種是照射任意時間的照射時間模式，可以在設(shè)定的條件下照射UV。
LED規(guī)格和全自動型在我們的高壓水銀規(guī)格-手動型黑光規(guī)格中的黑光規(guī)格準(zhǔn)備，我們必須按照開發(fā)和生產(chǎn)計劃排列各種紫外線照射設(shè)備。
近年來，我們擁有配備LED光源UV-LED的全自動設(shè)備陣容，我們正在努力降低運行成本，并考慮到環(huán)境資源來設(shè)計設(shè)備。
它是一種臺式紫外線照射裝置，可固化紫外線固化膠帶膠水、粘合劑等。
| 對應(yīng)工作尺寸 | 6寸/8寸/12寸 |
|---|---|
| 對應(yīng)幀 | 6inch 切割框 x 2 8inch 切割框 x 1 12inch 切割框 x 1 (*不能照射整個12inch) |
| 設(shè)備外形尺寸 | W520 x D550 x H200 (mm) |
| 設(shè)備重量 | 約30公斤 |
| 類型 | 說明書（黑光規(guī)格） |
它是一種使用具有強輻射能量的燈的紫外線固化裝置。
| 對應(yīng)工作尺寸 | 6、8寸切塊架 |
|---|---|
| 設(shè)備外形尺寸 | 8英寸型：W1300 x D1100 x H1650（毫米） |
| 設(shè)備重量 | 8inch型：約550kg |
| 類型 | 全自動（高壓水銀規(guī)格） |
它是一種自動取出盒提供的晶圓框架，用紫外線照射它并存儲它的設(shè)備。
| 對應(yīng)工作尺寸 | 6、8 英寸或 8、12 英寸 |
|---|---|
| 設(shè)備外形尺寸 | 8 英寸類型：W 660 x D1030 x H1160（毫米） 12 英寸類型：W1050 x D1100 x H1200（毫米） |
| 設(shè)備重量 | 8 英寸型：約 200 公斤 12 英寸型：約 200 公斤 |
| 類型 | 全自動（黑光規(guī)格） |
